Rutenium Target

Hapettumisenestoaine, korroosionkestävä-ja tasaisesti kalvon-muodostava, joka tarjoaa erittäin luotettavan ohut{2}kalvopinnoitusratkaisun puolijohde- ja tiedontallennussovelluksiin.

Rutenium-sputterointikohde on platinaryhmän jalometallisputterointikohde, joka on valmistettu erittäin -puhtaudesta ruteenista (Ru) puhdistuksen, sulatuksen, takomisen ja tarkkuustyöstön kautta. Sitä käytetään ensisijaisesti fysikaalisessa höyrypinnoitus (PVD) magnetronisputterointi prosesseissa. Tällä tuotteella on korkea sulamispiste, korkea kovuus, erinomainen hapettumisenkestävyys ja kemiallinen stabiilisuus, mikä mahdollistaa yhtenäisten ja tiheiden ruteenikalvojen valmistamisen. Se löytää laajoja sovelluksia kehittyneissä puolijohdemuistissa, integroiduissa piiriliitännöissä, diffuusiosulkukerroksissa sekä tietojen tallennus- ja näyttölaitteissa.

Lähetä kysely

Tuotteen kuvaus

Tämä ruteniumkohteiden sarja on valmistettu erittäin{0}}puhtaista ruteniumraaka-aineista, ja niillä saavutetaan korkea tiheys ja tasainen mikrorakenne kaarisulatus- ja rakeiden jalostusprosesseilla. Tuotteita on saatavana eri kokoonpanoissa, mukaan lukien tasomaiset ja pyörivät kohteet, ja ne tukevat indium-sidos/elastic Body-backplate-palveluita, mikä tekee niistä sopivia DC-sputterointisovelluksiin.

Ominaisuus

Erittäin puhdas, perinteinen laatu, saatavana erittäin{0}}korkean puhtausasteen ominaisuuksilla.
Korkea kovuus, erinomainen kulutuskestävyys ja erinomainen hapettumisen ja korroosionkestävyys.

Liian korkea sulamispiste ja erinomainen korkean lämpötilan{0}}stabiilisuus.
Kalvossa on tasainen kerrostuminen ja korkea tiheys, mikä tekee siitä sopivan kehittyneisiin puolijohteiden valmistusprosesseihin.

Tekniset tiedot ja mallit

Jos haluat räätälöityjä mittoja, paksuutta, puhtautta tai teknisiä tietoja, ota rohkeasti yhteyttä. Voimme tarjota räätälöityjä materiaaliratkaisuja sputterointilaitteidesi, pinnoitusvaatimustesi ja mittamäärittelyjesi perusteella.

Luokituksen ulottuvuus	Tuotetyyppi	Ydinominaisuudet
Puhtausaste	Eri puhtausasteita	Yleiskäyttöinen-puolijohteet, näytöt ja muistilaitteet.
Tuotteen muoto	Pyöreä tasomainen ruteniumkohde	Vakiotiedot, yhteensopiva useimpien sputterointilaitteiden kanssa.
	Suorakaiteen/lohkon{0}}muotoinen ruteenitaulu	Soveltuu suurten{0}}pintojen pinnoitussovelluksiin.
	Pyörivä ruteniumkohde	Soveltuu laajalle-alueelle, tehokkaaseen-pinnoitukseen.

Sovellus

Puolijohteet: DRAM/MIM-kondensaattorielektrodit, yhdistävät diffuusiosulkukerrokset.
Lisätallennus: magneettinen tallennus, vaihe-muutosmuisti, resistiivinen muisti.
Integroitu piiri: kupariyhdistyssiemenkerros, estekerros ja logiikkalaite.
Näyttölaitteet: Litteät{0}}paneelinäytöt, OLED-ohut{1}}kalvoelektrodit.
Optoelektroniikka ja aurinkosähkö: optiset pinnoitteet, aurinkokennojen toiminnalliset kerrokset.
Tarkkuuselektroniikka: Kulutusta{0}}kestävät sähkökoskettimet, paksu-kalvovastukset, anturit.

Suositut Tagit: ruteenikohde, Kiina ruteenin kohdevalmistajat, toimittajat, tehdas