Tarkkuuspuhdistus ja pintaHoito
Olemme erikoistuneet tarjoamaan ammattimaisia puhdistus- ja pintakäsittelyratkaisuja edistyneille prosessiteknologioille. Integroimalla alan strategisten kumppaneiden resursseja teemme yhteistyötä tarjotaksemme asiakkaillemme kattavaa palvelutukea. Yhteistyökumppaneillamme on yli 20 vuoden käytännön kokemus puolijohdealalta, ja tiimit ovat varustettu teknisellä asiantuntemuksella 14 nm:n solmuun asti. Ne pystyvät tarjoamaan luotettavasti puhdistus- ja pintakäsittelypalveluita 8- ja 12-tuumaisille kiekkokankaille. Ne kattavat prosessit, kuten fyysisen höyrypinnoituksen (PVD), kemiallisen höyrypinnoituksen (CVD), etsauksen ja ioni-istutuksen.
Toimien palvelusiltana, hyödynnämme kumppaneidemme kypsiä laadunhallintajärjestelmiä ja responsiivista palvelukykyä auttaaksemme integroituja piirejä ja laajaa puolijohdevalmistajaa valmistavia asiakkaita vastaamaan tiukkojen laadunvalvonta- ja prosessihaasteisiin ja tarjoamaan tehokasta ja vakaata palvelutukea.
Tarkkuuspuhdistuksen tapaustutkimukset
Tarkkuuspesun jälkeisen näytetestauksen, hiukkastason ja pinnan metalli-ionijäämän tason tulee täyttää nykyisen 28 nm:n prosessin vaatimukset.
-
Ennen -
Jälkeen
-
Ennen -
Jälkeen
-
Ennen -
Jälkeen
-
Ennen -
Jälkeen
-
Saapuva tarkastus
Saapuva tarkastus
Tarkista ulkonäkö, tekniset tiedot ja vauriot.
-
Naamiointi
Naamiointi
Suojaa käsittelemättömät alueet{0}}korroosiolta.
-
Kemiallinen kuorinta
Kemiallinen kuorinta
Poista vanhat pinnoitteet tarkasti.
-
Huuhtelu/liotus
Huuhtelu/liotus
Poista kemikaalijäämät puhtaalla vedellä.
-
Naamiointi
Naamiointi
Suojaa alueet hiekkapuhallukselta.
-
Hiekkapuhallus
Hiekkapuhallus
Säädä parametreja tavoitekarheuden saavuttamiseksi.
-
Mitoitus ja tarkastus
Mitoitus ja tarkastus
Mittaa ja korjaa mitat vaatimusten mukaisesti.
-
Terminen ruiskutus
Terminen ruiskutus
Levitä kulumista{0}}kestäviä pinnoitteita kaaren tai plasman kautta.
-
Korkea{0}}painepesu
Korkea{0}}painepesu
Poista suuret pintahiukkaset.
-
Ultraäänipuhdistus
Ultraäänipuhdistus
Suorita tarkkuuspuhdistus hienojen hiukkasten poistamiseksi.
-
Puhdastila kuivaus
Puhdastila kuivaus
Kuivaa osat perusteellisesti luokan 100 puhdastilauunissa.
-
Lopputarkastus
Lopputarkastus
Suorita kattavat tarkastukset varmistaaksesi vaatimustenmukaisuuden.
-
Pakkaus
Pakkaus
Tyhjiöpakkauksen komponentit asiakkaan vaatimusten mukaan.
-
Toimituksen tarkastus
Toimituksen tarkastus
Tarkista määrä ja pakkauksen eheys.
-
Lopullinen toimitus
Lopullinen toimitus
Luo raportteja ja toimita.
Palvelukyky
► 5000m2(55000 neliömetriä) puhdas työpaja-alue.
► Yli 5 000 kpl/kk hoitokapasiteetti.
► 365 päivää jatkuvaa ja tehokasta palvelua.
► Erilaisia tuotteita, erilaisia prosesseja.
►8 johtavaa käsittelylinjaa, mukaan lukien teknologiat:
- Kemiallinen puhdistus/kuoritus, Fyysinen poisto
- ARC-spray, plasmaspray, päällystys, teksturointi, imurointi ja pakkaus, huolto jne.
Tekniset valmiudet
► Prosessi: 14nm edistynyt prosessi
► Palvelun laajuus: 4 tuumaa, 6 tuumaa, 12 tuumaa puolijohdeosia
► Huoltoprosessi: PVD/CVD/ETCH/IMPLANT/LITHO
► Tiukka laadunvalvonta: korkeatasoinen-tarkkuuspuhdistustekniikka